集成电路科学与工程学术学位硕士点
下设三个研究方向：
集成纳电子科学。面向集成纳电子学基础问题，研究二维材料和界面的稳定机制及电子输运，探索开发新一代高速逻辑电路的基础材料；探索磁性和反铁磁性结构的磁电阻效应及实现高效电流驱动的原理和方法，为实现高速磁随机存储电路奠定基础；研究基于磁性和反铁磁性隧穿结构模拟神经元的功能，构建仿脑计算网络，为高效人工智能研究奠定器件基础；研究高效且低功耗的纳米光电功能薄膜材料，为基于光电耦合的新一代高速逻辑电路奠定基础。
集成电路设计与设计自动化。面向集成电路设计与工艺基础，研究基于表面等离子体的超分辨纳米光刻技术，为普通紫外光源下实现20 nm以下的光刻工艺节点提供理论支撑；研究三维集成电路热效应分析方法，为下一代集成电路的实现提供技术支撑；研究红外焦平面光敏元芯片的设计，实现光栅结构优化和中规格阵列的红外成像，为大面阵红外焦平面光敏元芯片的实现奠定基础；设计电力线载波通信芯片，拓宽载波通信的应用场景，为高集成度远程集抄系统的实现奠定基础。
集成电路制造工程。面向新一代半导体材料和集成电路封装材料，设计IV族类石墨烯纳米结构并深入研究其等离子激发特性，为新型异质结和集成电路的实现探索新方向。开展宽禁带半导体薄膜材料的外延生长和器件研究，为大功率集成电路的实现奠定基础。开展ZnO/聚合物高压半导化复合封装材料的研究，有效提高储能陶瓷电容器的绝缘性能。构建ZnO、In2O3基系列纳米气敏材料，实现高灵敏度气体传感器的构建，为传感器与信号处理芯片的集成奠定了基础。
